羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵,利用一對8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣的運作
羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點:
1、羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速
2、羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速
3、羅茨真空泵泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染
4、泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。羅茨真空泵結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感
5、壓縮比較低,羅茨真空泵對氫氣抽氣效果差
6、羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難
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